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什么是MEMS加工?

发布时间:2020-10-02 11:42:26

MEMS加工是顺应MEMS产业发展起来的。我们知道,MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机电系统的缩写。在不同的地域有不同的叫法。在日本就被叫做微机械,欧洲国家喜欢称之为微系统,美国则直接使用首字母缩写来的更直接些。MEMS代工产业涉及电子、医疗、微流控、生物、汽车等领域。

原位芯片 MEMS加工 MEMS代工 光刻加工.jpg

MEMS加工应该是最精细、最微观的加工了。MEMS加工尺寸非常小,最大不过1cm,大部分都在微米、纳米级别进行加工,厚度也是非常的微小,对技术要求非常高。MEMS加工主要在硅材料上进行,硅材料电气性能优良,硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度与铝类似,热传导率接近钼和钨。

 

MEMS加工涉及的领域非常广泛,包含MEMS产业中的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控等人们生活工作中都能接触到的设备、仪器和物件。MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。MEMS代工随着MEMS技术也在发展成为一个巨大的产业,因MEMS技术革新带来的一次变革。很多MEMS领域观测学者们,对未来MEMS产业和MEMS加工产业的销售都很乐观,未来10年都将是迅速增长的趋势。

 

原位芯片提供MEMS加工服务,已经为国内知名高校、科研单位提供支持,并获得一致好评。原位芯片MEMS加工服务主要提供微流道器件、悬臂梁器件、高精度掩膜版、引线键合器件等MEMS加工服务。

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